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电子束诱导等离子体(eBIP)在检验、测试、调试及表面改质中的应用制造技术

2017-08-21 15:31:59 来源:齐鲁在线 编辑:K027_小凯乐
利用电子束诱导等离子体来与所关注装置建立非机械电接触。此种等离子体源可被称为大气等离子体源且可用以提供具有极细直径及可控特性的等离子体柱。所述等离子体柱横穿通入大气中的等离子体源与所关注装置之间的大气空间,且用作通向所关注装置的电路径,以便可从装置收集特性电信号。另外,通过控制流动至所述等离子体柱中的气体,可使用所述探测体来进行表面改质、蚀刻及沉积。

 

1 技术实现步骤摘要

【国外来华专利技术】电子束诱导等离子体(eBIP)在检验、测试、调试及表面改质中的应用相关申请交叉参考本申请主张2014年9月17日提出申请的第62/051,871号美国临时专利申请的优先权利,所述美国临时专利申请主张2013年10月3日提出申请的第61/886,625号美国临时专利申请的优先权利,并且也与2012年7月10日提出申请的名称为“利用电子束诱导等离子体探测体对电子装置进行电检验(ELECTRICALINSPECTIONOFELECTRONICDEVICESUSINGELECTRON-BEAMINDUCEDPLASMAPROBES)”的第W02013/012616号PCT专利申请有关,这两个专利申请的内容均以引用方式全文并入本文中。
本专利技术的各种实施例大体来说涉及对电子装置的非机械接触式探测、以及对装置及组织的表面改质。具体来说,各种实施例涉及电子束诱导等离子体探测体在计量学及表面改质中的应用。
技术介绍
在不必建立机械接触的情况下在已图案化结构上测量及施加电压及电流的能力对于半导体装置及平板显示器(例如,液晶显示器及有机发光二极管(OLED)显示器、背板、及印刷电路板)的功能(电)测试来说较重要,这是因为非机械接触式探测会将对受测试装置/面板的损坏可能性最小化并且也有益于提高测试处理量(testingthroughput)。PhotonDynamics’,奥宝公司(Orbotechcompany)的Voltage光学系统(VIOS),采用电光换能器将受测试装置上的电场转变成由光学传感器捕获的光学信息。其他技术通过次级电子来提供对受测试装置上电压的间接测量,且...
电子束诱导等离子体(eBIP)在检验、测试、调试及表面改质中的应用

 

2 技术保护点

一种大气等离子体设备,包括:真空围封罩,在其第一侧处具有孔口;电子源,定位于所述真空围封罩内部且具有电子提取开口;提取器,定位于所述提取开口附近且用以从所述电子源提取电子,以形成电子束并引导所述电子束穿过所述孔口,其中所述电子束被配置成具有比所述孔口的直径小的直径;孔径板,被定位成覆盖所述孔口,所述孔径板是导电的且其上附装有导线,且其中所述孔径板具有直径比所述电子束的所述直径小的孔径,使得所述孔径板在所述电子束穿过所述孔径时减小所述电子束的所述直径;以及其中所述电子束用以在其离开所述孔径时将大气电离,以维持等离子体柱。

3 技术保护范围摘要

【国外来华专利技术】2014.09.17 US 62/051,8711.一种大气等离子体设备,包括:真空围封罩,在其第一侧处具有孔口;电子源,定位于所述真空围封罩内部且具有电子提取开口;提取器,定位于所述提取开口附近且用以从所述电子源提取电子,以形成电子束并引导所述电子束穿过所述孔口,其中所述电子束被配置成具有比所述孔口的直径小的直径;孔径板,被定位成覆盖所述孔口,所述孔径板是导电的且其上附装有导线,且其中所述孔径板具有直径比所述电子束的所述直径小的孔径,使得所述孔径板在所述电子束穿过所述孔径时减小所述电子束的所述直径;以及其中所述电子束用以在其离开所述孔径时将大气电离,以维持等离子体柱。2.如权利要求1所述的大气等离子体设备,进一步包括电绝缘部件,所述电绝缘部件用以将所述孔径板与所述真空围封罩电隔离。3.如权利要求1所述的大气等离子体设备,进一步包括定位于所述孔径板与所述真空围封罩的所述第一侧之间的膜片。4.如权利要求1所述的大气等离子体设备,进一步包括差动泵激室,所述差动泵激室附装至所述真空围封罩的所述第一侧,且其中所述孔径板附装至所述差动泵激室的下部分。5.如权利要求1所述的大气等离子体设备,其中所述孔径板包括多个电隔离区段,每一所述电隔离区段耦合至各自的导线。6.如权利要求1所述的大气等离子体设备,进一步包括位于所述真空围封罩内部的静电透镜。7.一种用于对样本执行电压衬度成像的方法,包括:在真空围封罩中从电子源提取电子束;将所述电子束从所述真空围封罩传送至邻近环境气体中,以由此将所述电子束周围的气体分子电离,从而产生已电离物质柱;使所述电子束在样本的所选区域上进行扫描,所述样本被定位成与所述电子束进入至所述气体环境中的进入点相对;跨越所述等离子体施加电压电位,以驱动从所述样本至拾取电极的电子电流;测量在所述拾取电极与所述样本之间流动的电子电流量;利用在所述所选区域上的每一位置处测量的所述电子电流量来产生图像,并在监视器上显示所述图像。8.一种用于利用电子束诱导等离子体探测体来执行三维对齐的方法,包括:在真空围封罩中从电子源提取电子束;将所述电子束从所述真空围封罩传送至邻近气体环境中,以由此将所述电子束周围的气体分子电离,从而产生已电离物质柱,所述已电离物质柱界定等离子体探测体;使所述等离子体探测体在样本的所选区域上进行扫描,所述样本被定位成与所述电子束进入至所述气体环境中的进入点相对;跨越所述等离子体施加电压电位,以驱动从所述样本至拾取电极的电子电流;测量在所述拾取电极与所述样本之间流动的电子电流量;测量从所述样本散射的经反向散射电子;利用经反向散射电子的测量值来确定所述等离子体探测体的横向对齐;利用所述电子电流的测量值来确定所述等离子体探测体的垂直对齐。9.如权利要求8所述的方法,进一步包括利用先前知晓的所述样本的材料组成及形貌中的至少一个来进行更准确对齐。10.如权利要求8所述的方法,其中利用电子束诱导等离子体探测体进行的三维对齐结合基于电子束诱导等离子体探测体的加工或测量应用而用作对齐能力。11.如权利要求8所述的方法,其中利用电子束诱导等离子体探测体进行的三维对齐结合利用电压成像光学系统进行的LCD阵列测试而用作对齐能力。12.如权利要求8所述...

4 专利技术属性

发明(设计)人:尼德尔·萨利赫恩里克·斯特林丹尼尔·托伊特阿里·格雷泽罗恩·勒温格斯里拉姆·克里什娜斯瓦米
申请(专利权)人:奥宝科技股份有限公司烽腾科技有限公司
专利类型:发明
专利号:201580050090
国别省市:以色列,IL


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