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一种制备氮化物自支撑衬底的技术方法

2017-09-07 16:51:02 来源:网络 编辑:K027_小凯乐
一种制备氮化物自支撑衬底的技术方法
二十世纪末,为了实现高频、宽带宽、高效率及大功率等优异性能器件的制备,以氮化镓为代表的第三代宽禁带半导体材料加快了发展进程。目前,大尺寸氮化镓自支撑衬底的制备是前进道路上最大的障碍之一。其制备工艺,通常在蓝宝石衬底上异质外延氮化镓膜,然后采用激光剥离技术(LaserLift-offTechnique)使得氮化镓膜与蓝宝石分离,从而得到自支撑氮化镓衬底。由于氮化镓在蓝宝石上异质外延过程中,存在较大的晶格失配和热胀失配,由此造成在激光剥离过程中,氮化镓膜较容易产生碎裂。中国专利CN1779900A将氮化镓外延层粘附在承接衬底上,通过一个外接基板阻止激光剥离过程中氮化镓碎裂的发生,从而得到大面积氮化镓自支撑衬底;中国专利CN103839777A采用步进扫描方式的长条形激光光斑扫描照射蓝宝石衬底,通过激光光源的调节,实现大面积氮化镓膜的剥离;中国专利CN105720141A在氮化镓膜与蓝宝石基底之间生长激光阻挡层,通过在晶体生长过程中预先生长有利膜层,为激光剥离制备大尺寸氮化镓自支撑衬底奠定了基石。
 
一种制备氮化物自支撑衬底的方法,包括以下步骤:选取待加工的蓝宝石基底,该蓝宝石基底由至少两个经加工整形后的子蓝宝石基底拼接形成;在蓝宝石基底上沉积氮化物形成氮化物层;进行激光剥离,使激光从蓝宝石基底所在侧入射,对蓝宝石基底进行全面扫描,根据激光扫描的先后顺序,各个子蓝宝石基底依次与氮化物层分离,从而制备出氮化物自支撑衬底。本发明专利技术有利于应力释放,很大程度上降低了激光剥离技术的难度,解决激光剥离中氮化物单晶层碎裂的问题,从而能够得到完整的大尺寸氮化物自支撑衬底。
 
本专利技术要解决的技术问题是提供一种制备氮化物自支撑衬底的方法,有利于应力释放,很大程度上降低了激光剥离技术的难度,解决激光剥离中氮化物单晶层碎裂的问题。为了解决上述技术问题,本专利技术采取以下技术方案:一种制备氮化物自支撑衬底的方法,包括以下步骤:选取待加工的蓝宝石基底,该蓝宝石基底由至少两个经加工整形后的子蓝宝石基底拼接...
 
一种制备氮化物自支撑衬底的方法,包括以下步骤:选取待加工的蓝宝石基底,该蓝宝石基底由至少两个经加工整形后的子蓝宝石基底拼接形成;在蓝宝石基底上沉积氮化物形成氮化物层;进行激光剥离,使激光从蓝宝石基底所在侧入射,对蓝宝石基底进行全面扫描,根据激光扫描的先后顺序,各个子蓝宝石基底依次与氮化物层分离,从而制备出氮化物自支撑衬底。一种制备氮化物自支撑衬底的方法,包括以下步骤:选取待加工的蓝宝石基底,该蓝宝石基底由至少两个经加工整形后的子蓝宝石基底拼接形成;在蓝宝石基底上沉积氮化物形成氮化物层;进行激光剥离,使激光从蓝宝石基底所在侧入射,对蓝宝石基底进行全面扫描,根据激光扫描的先后顺序,各个子蓝宝石基底依次与氮化物层分离,从而制备出氮化物自支撑衬底。2.根据权利要求1所述的制备氮化物自支撑衬底的方法,其特征在于,所述激光从蓝宝石基底所在侧入射后,从左至右依次激光条形扫描。3.根据权利要求1所述的制备氮化物自支撑衬底的方法,其特征在于,所述激光从蓝宝石基底所在侧入射后,从外圈向内圈依次激光环形扫描。
 

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